螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，螺桿真空泵是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合。真空泵種類豐富、各式各樣的真空泵都制作過相應(yīng)的真空泵過濾器，下面介紹下來羅茨泵、水環(huán)泵、螺桿真空泵的特點：
　　羅茨泵啟動快，耗功少，運轉(zhuǎn)維護費用低，但是它的抽速大、效率高，對被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感，泵內(nèi)裝有兩個同步旋轉(zhuǎn)但方向相反的葉形轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間都有細小間隙而互不接觸。在工作時需要安裝真空泵過濾器來保護泵體。
　　水環(huán)泵的結(jié)構(gòu)十分緊湊，泵的轉(zhuǎn)速較高，一般可與電動機直聯(lián)，不需要減速裝置。吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡單，維修也非常方便。水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的，屬于變?nèi)菔秸婵毡茫们粌?nèi)沒有金屬磨擦表面，不需要對泵內(nèi)進行潤滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動件和固定件之間的密封可直接由水封來完成。與羅茨泵相同，水環(huán)泵在工作時也需要真空泵過濾器在保障泵體安全。
　　螺桿真空泵的噪音低，抽速大；工作時不需要工作流體就可以進行抽氣，不會發(fā)生腐蝕；能抽除含有大量水蒸氣及少量粉塵的氣體場合，真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能、免維修等特點。干式真空泵在工作時，兩個互鎖的螺旋轉(zhuǎn)子沿相反方向旋轉(zhuǎn)，吸入氣體將其壓縮送到排氣口。干式真空泵雖然不需要工作流體，但是為了防止在抽氣時有微粒進入真空泵內(nèi)，在入口處還是加裝真空泵粉塵過濾器。

　　這里介紹了關(guān)于羅茨泵、水環(huán)泵、螺桿真空泵的特點。螺桿真空泵在國內(nèi)制藥、化工、半導(dǎo)體等對清潔真空要求的領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

小編：ZiYu